スプレーコーター

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スプレーコーター

『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、
微細な凹凸に塗布ができます。

微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、
キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で
あった部分にも均一な膜を形成可能。

反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。

【特長】
■微細な凹凸に塗布が可能
■低粘度から高粘度の薬液に対応
■数μmから数百μmの膜厚に対応
■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

取扱会社スプレーコーター

株式会社三明静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森

産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。

公式サイト

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