プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』

『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する
自動移載システムです。

プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを
搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。

また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを
自動で認識します。

【特長】
■プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送
■プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載可能
■ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
■ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能
■ワークの高さを自動で認識

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）