非接触移動度測定装置『LEI-1610シリーズ』

半導体デバイスの製造にとって、キャリア移動度は、とても重要なパラメーターに
なります。

『LEI-1610シリーズ』は、移動度、キャリア濃度、シート抵抗など様々な
半導体キャリア輸送特性の測定が可能な非接触移動度測定装置です。

2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）
epiウエハを非接触・破壊にてキャリア移動度、シート抵抗、シートチャージ密度が
測定できます。

【特長】
■マイウロウェーブ反射による非接触移動度測定
■高周波デバイス特性のスタンダード測定装置
■ホール効果による測定結果との高い相関性
■マルチキャリア・モデリングオプション

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