エッチング液中の過酸化水素と硫酸の定量【電位差自動滴定装置】

硫酸-過酸化水素エッチング液は、銅の表面洗浄用やハーフエッチング用
として使用され、 硫酸および過酸化水素を主成分とするものです。

含有する過酸化水素が自然に分解しやすい性質から、一定のエッチング速度を
維持するためには、硫酸と過酸化水素の濃度を測定して、適切に硫酸と
過酸化水素を濃度管理することが重要です。

当アプリケーションデータでは、まず、水酸化ナトリウム標準液による
中和滴定で硫酸を定量。硫酸溶液を加えて酸性とし、過マンガン酸カリウム
標準液による酸化還元滴定で過酸化水素を定量する例についてご紹介します。

【掲載内容】
■測定の概要
■装置構成および試薬
■測定手順
■測定条件例および測定結果
■摘要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）