フォトレジスト剥離液中の剥離剤の定量（塩化バリウム添加法による炭酸塩の定量）【電位差自動滴定装置】

液晶表示器用基板などの現像終了後の基板に残ったフォトレジストの
剥離剤としては、強アルカリ溶液が用いられます。

TMAHは塩酸標準液による中和滴定によって定量することができ、
空気中の炭酸ガスを吸収し炭酸塩を生成すると、塩酸標準液により
滴定したときpH4付近にもう一つの滴定終点を示す滴定曲線となります。

当アプリケーションデータでは、TMAHと炭酸塩を分別定量した例について
掲載。特に塩化バリウムを添加して炭酸塩を測定する方法について紹介します。

【掲載内容】
■測定の概要
■装置構成および試薬
■測定手順
■測定条件例および測定結果
■摘要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）