フォトレジスト剥離液中の剥離剤の定量【電位差自動滴定装置】

TMAHは塩酸標準液による中和滴定によって定量することができます。

また、TMAHは空気中の炭酸ガスを吸収し炭酸塩を生成すると、塩酸標準液に
より滴定したときpH4付近にもう一つの滴定終点を示す滴定曲線となります。

当アプリケーションデータでは、TMAHと炭酸塩を分別定量した例について
紹介します。

【掲載内容】
■測定の概要
■装置構成および試薬
■測定手順
■測定条件例および測定結果
■摘要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）