Agilis MOCVD装置カタログ-Agnitron社-

Agnitron社は中古装置の使用履歴、装置特徴を等を熟知しており、ニーズを満たす中古装置の再生（リファブ）、アップグレードを実施します。また材料科学、プロセスエンジニアリングに精通しており、装置のエンジニアリングだけに留まらず、装置の過去使用履歴が将来の性能にどのように影響を与えるか、部品の再利用可否、交換する適切な時期を把握していますので安心して装置を購入、使用して頂けます。

(1) 標準及びオプションのアップグレードにより新たな機能追加可能。
(2) 部品、サービス提供体制。
(3) 様々なお客様の要求に柔軟に対応。
(4) オプションによりエピ検収保証可能。 （詳細を見る）

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定性を有する業界最高レベルの温度モニターです。
(1) 圧倒的な温度制御の精度と正確さ
(2) メンテナンス後のキャリブレーション時間を短縮
(3) Run to Runの再現性が向上
(4) 様々なアプリケーションに役立つ単波長および二波長反射率オプション
標準波長：930nm, オプション波長：530nm, 1550nm シングル波長、二波長共に対応可能。
(5) 広範囲の温度計測可能（Max 1800℃） （詳細を見る）

MOCVD(有機金属気相成長)装置とプロセスをコントロールするための最新のWindowsベースのSCADAパッケージを備えたMOCVD装置制御ソフトウエアです。最新の制御機能とデータロギング機能を有しており、他のソフトウエアにはないカスタマイズ性、操作性が優れています。Veeco, Thomas Swan, Aixtron社等のレガシーMOCVD装置の制御ソフト入れ替え、ソフトウエアアップグレードに最適です。
(1) リアルタイム制御、監視
(2) イージーコントロールソフトウエア
(3) 実績のあるパフォーマンス
(4) 継続的に開発、改良され、サポートサービスを提供しています。
(5) 様々な他社レガシーMOCVD装置の制御ソフトウエアの入れ替え,更新可能
(6) 短期間でのソフト入れ替え、ソフトウエアアップグレード可能 （詳細を見る）

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバではシングルチャンバ構成にて幅広い材料のエピ成長が可能です。 （詳細を見る）