マイクロ・ナノ熱工学の進展ISBN978-4-86043-722-0

■目次
第1編 薄膜材料の特性と特徴
　1章 薄膜の特徴と特性
　2章 薄膜材料の電気特性
　3章 薄膜材料の誘電特性
　4章 薄膜材料の固液界面特性
　5章 薄膜材料の磁気特性
　6章 薄膜材料の光学特性
　7章 薄膜材料の力学特性
　8章 薄膜材料の化学特性
第2編 薄膜の作製と加工
　1章 基板と表面処理
　2章 PVD法
　3章 CVD法
　4章 液相薄膜堆積法
　5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法
　6章 パターン化技術
　7章 薄膜の加工／改質技術
第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価
　1章 薄膜・表面・界面の分析評価法
　2章 薄膜分析・評価対象各論
第4編 薄膜技術の応用と展望
　1章 電子デバイス
　2章 光部品
　3章 ディスプレイ
　4章 記録
　5章 センサ
　6章 環境・エネルギー
　7章 有機・バイオデバイス
　8章 二次元材料・デバイス （詳細を見る）

熱エネルギーの効果的マネジメントは高性能サーマルデバイス開発から！

デバイスのサーマルマネジメントから熱の測定、制御、断・保・放熱、活用、創エネまでサーマルデバイスの先端技術を網羅。 （詳細を見る）

第1・2編では基礎編として、マイクロ・ナノ領域での熱物質移動現象の特性を明らかにするとともに、その理論的背景や解析手法、計測手法等を解説。
第3～5編では応用編として、最近の研究進展が目覚しいナノ材料、デバイス、計測技術について解説。 （詳細を見る）

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