伯東株式会社本社
最終更新日:2022-04-18 10:07:52.0
分光エリプソカタログ-SENTECH
解析波長が広い(DUV~NIR)分光エリプソ
回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。 (詳細を見る)
取扱会社 分光エリプソカタログ-SENTECH
分光エリプソカタログ-SENTECHへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。