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最終更新日:2022-04-18 10:07:52.0

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分光エリプソカタログ-SENTECH

解析波長が広い(DUV~NIR)分光エリプソ

解析波長が広い(DUV~NIR)分光エリプソ 製品画像

回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。 (詳細を見る

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