破壊分析型超高度ガス分析装置

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！

★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託質量分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）