特許資料（特開 2021-171909 超音波加工 ）2.00

超音波システム研究所は、
　音圧測定解析装置（超音波テスター）と
　メガヘルツの超音波発振制御プローブにより
　物（工具・対象物・・・）の
　音響特性（振動の応答特性・非線形現象）を利用する、
　「超音波発振制御（加工）技術」を開発しました。

この開発した技術により
　「超音波の発振・出力制御」による
　対象物への非線形振動現象をコントロール可能にした、
　超音波のダイナミック制御（バイスペクトルの変化）を実現します。
　オリジナルの超音波発振制御プローブにより、
　超音波振動の非線形効果として利用・制御可能になりました。

これは、加工・洗浄・表面改質・化学反応の促進・・・に対して
　目的に合わせた、効果的な超音波利用（制御）技術です。

刃物（ドリル、リーマー、カッター、ナイフ・・）の音響特性や
　加工油・治工具・対象物のサイズ・材質・・に対する相互作用もあり
　解析（自己相関・インパルス応答・寄与率・バイスペクトル）は、
　複雑ですが、音圧測定データの
　解析結果に基づいた各種の最適化が可能になります

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超音波システム研究所は、
メガヘルツの超音波の発振制御が容易にできる
新しいファンクションジェネレーターとの組み合わせによる
　「超音波発振制御システム2023」を開発しました。

システム概要（超音波発振システム（25MHz 2ch 200MSa/s））

　内容
　　超音波発振プローブ　２本
　　ファンクションジェネレータ　１式（DG1022Z 25MHz 2ch 200MSa/s）
　　操作説明書　１式（ＵＳＢメモリー）

超音波プローブの伝搬特性
１）振動モードの検出（自己相関の変化）
２）非線形現象の検出（バイスペクトルの変化）
３）応答特性の検出（インパルス応答特性の解析）
４）相互作用の検出（パワー寄与率の解析）

解析には下記ツールを利用します
「R」フリーな統計処理言語かつ環境
　autcor：自己相関の解析関数
　bispec：バイスペクトルの解析関数
　mulmar：インパルス応答の解析関数
　mulnos：パワー寄与率の解析関数

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超音波システム研究所は、
１）超音波プローブの製造技術
２）超音波伝搬状態の評価技術
３）超音波を利用した表面検査技術
以上を応用して、表面残留応力の測定・解析・評価方法を開発してきました。
多数の実績から、超音波の利用技術として様々な応用が可能であると考え、
関連技術を含め公開しています。

具体例
表面処理ノウハウ：標準的な設定
出力 １３－１５Ｖ
矩形波 Ｄｕｔｙ４７．１％
スイープ範囲 ５００ｋＨｚ～１３ＭＨｚ ２秒

強度が低い対象（あるいは長時間の処理）に対する設定
出力 １－３Ｖ
矩形波 Ｄｕｔｙ４７．１％
スイープ範囲 ３００ｋＨｚ～３ＭＨｚ １秒
（あるいは １００ｋＨｚ～５ＭＨｚ １秒）

注：対象物の超音波伝搬特性と、
　ファンクションジェネレーターの発振特性により
　発振条件は大きく変わります

超音波の伝搬特性
１）振動モードの検出（自己相関の変化）
２）非線形現象の検出（バイスペクトルの変化）
３）応答特性の検出（インパルス応答の解析）
４）相互作用の検出（パワー寄与率の解析）
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