日酸TANAKA株式会社産業機器事業部
最終更新日：2021-07-16 10:45:38.0
超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』
超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』
『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの
供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。
接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、
非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から
スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。
加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても
対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。
【特長】
■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種
■TORR調整器をベースに開発
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』
【営業品目】 ○機器・溶接材料 レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、 溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、 高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、 半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、 理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、 標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、 ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工 高精度分析用ガス供給設備
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