カタログ発行日：2021/7/22

電子プローブマイクロアナライザー_A0076

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基本情報電子プローブマイクロアナライザー_A0076

EPMA：Electron Probe Micro Analyzer

電子プローブマイクロアナライザー(Electron Probe Micro Analyzer: EPMA) は、真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。特性X線を波長分散型検出器(WDX:Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)を用い分析することで、エネルギー分散型検出器(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer)よりも、感度の高い測定が可能です。軟X線発光分光法(SXES: Soft X-Ray Emission Spectroscopy)を用いることで、局所的な化学結合状態に関する情報も得られます。

この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。

取扱会社電子プローブマイクロアナライザー_A0076

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