質量分析における 現状の課題解決と 広がる⽤途

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

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