石英製品/スパッタターゲット/蒸着材料/関連部品

当社は特殊な製法により割れを低減させたSiターゲットを供給しております。

現状、割れが多く発生すると言われているSiターゲットですが、
弊社の特殊製法により割れを低減させることが可能です。

その他の各種金属材料や酸化物、合金ターゲットなど
お客様のご要望により製造・販売しております。
バッキングプレートを支給して頂き、新たなターゲット材にボンディング加工も致します。

関係会社の中国工場で生産をおこなうため低コストでのご提供ができ、
また、日本国内の品質を基準とした生産体制を整えております。
お客様のご要望により各種分析も実施可能です。

【対応可能材質】
金属材料：Si、Nb、Ti、Cr、Ta、Al…
酸化物　：SiO2、Ta2O5、Al2O3、ITO…
合金材料：Cu+Ag、Ni+Cr、Ti+Cl…

※製造工程の紹介資料も進呈しております。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

USTRON株式会社は、薄膜材料、石英製品、及びその付属部品について
20数年間の生産経験を持っており、中国にある21,000m2余りの生産工場にて
各種高純度蒸着材料及びスパッタリングターゲット材料等の生産をしています。

厳しい品質管理により、各バッチに於いて安定した成膜を保証。

薄膜技術の生産・研究に専念し、日々発展する業界の中でお客様の信頼できる
パートナーとして尽力しています。

【事業内容】
■マテリアル事業
■半導体部品関連事業
■先進機器材料関連事業

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USTRON（アストロン）は、2002年から中国の自社工場にて、真空蒸着に
使用される各種高純度蒸着材料を製造・販売しております。

酸化物、フッ化物、硫化物及び純金属など、多種多様な真空蒸着材料を
提供しており、ハースライナーに応じた形状・サイズの薄膜材料での
製作も可能。

お客様の様々なニーズへ対応しております。

【特長】
■二酸化ケイ素（SiO2）
・規格が揃っているため、蒸着時間が管理しやすい
・低屈折率で、電子抵抗蒸着や電子ビーム蒸着に好適
■五酸化Ta（Ta2O5）
・吸収係数が低く、滑らかな透過率曲線を描く
・高屈折率で成膜中に発生するガスが少ない
・電子銃蒸着に適している

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『FLH321』は、半導体及び太陽光発電用石英ボート、洗浄槽、炉芯管、
石英フランジ等に使われる製品で、光ファイバー用各種棒材、
理化学容器、カバーや電子工学工業用大規格・高精度平面石英基板、
装置用覗き窓、プリズムなどに使用いただけます。

また、お客様の要望に沿った各種特殊な加工にも対応可能。

当仕様書では、熱的性質をはじめ、光学的性質や化学的性質などの
諸特性と不純物（参考値）を掲載しています。ぜひご覧ください。

【掲載内容】
■諸特性
・熱的性質
・光学的性質
・化学的性質
・機械的性質
・電気的性質
■不純物（参考値）
・AL、Ca、Mg、Cu、Fe、Ni、Mn、Li

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『AQZ』は、極めて高純度の石英製品です。

極低膨張率、遠紫外線域での高い透過率、化学的耐久性などの
優れた特性を有し、サブミクロン単位の超精密性と高い安定性を
要求される光学部品材料として好適。

硝材の材料寸法、形状については都度の対応を致します。

【仕様】
■品名：AQZ
■純度：99.999％
■脈理方向：3side striae free（VAD）
■OH：Less than 200 ppm
■使用波長：436nm、365nm、248nm

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『Quarts Tube』は、極低膨張率、遠紫外線域での高い透過率、
化学的耐久性などの優れた特性を有した極めて高純度の石英製品です。

光ファイバー用資材、半導体/太陽光発電用資材向け拡散炉チューブ
などのサブミクロン単位の超精密性と高い安定性を要求される
光学部品材料として好適。

硝材の材料寸法、形状については都度の対応を致します。

【熱的性質】
■熱膨張係数
・融解/合成：6［10-7］(50～200)℃
■軟化点：融解1730℃/合成1600℃
■歪点：融解1075℃/合成1025℃

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『Quarts Rod』は、極低膨張率、遠紫外線域での高い透過率、化学的耐久性
などの優れた特性を有した極めて高純度の石英製品です。

光ファイバー用資材、半導体/太陽光発電用資材向け石英ボート等、
サブミクロン単位の超精密性と高い安定性を要求される光学部品材料として好適。

硝材の材料寸法、形状については都度の対応を致します。

【熱的性質】
■熱膨張係数
・融解/合成：6[10-7](50～200)℃
■軟化点：融解1730℃/合成1600℃
■歪点：融解1075℃/合成1025℃

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『Quartz fiber sleeve』は、シリカ成分98％以上のシリカヤーンを
製紐機で円筒状に編組した石英ファイバースリーブです。

最高1050℃までの温度に耐える事が可能。

柔軟性と断熱性能に優れ、高温パイプ、ケーブルなどの耐摩耗性及び
耐火保護に向いております。

【電気的特性】
■誘電率：3.74
■誘電損失：0.0002
■抵抗率(at 20℃)：1×10^20Ω・m
■抵抗率(at 1000℃)：1×10^8Ω・m

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『Quartz Fiber Ribbon』は、シリカ成分98％以上のシリカヤーンを
製紐機で布状に編組した繊布で最高1050℃までの温度に対応できる
断熱クロス＆テープ（石英ファイバー）です。

高温下で使用しても劣化が少なく特に耐熱・耐酸・電気絶縁性などを
要求される用途に好適。

また、柔軟性と断熱性能に優れるため、高温パイプ・ケーブルなどの
耐摩耗性及び耐火保護にご使用いただけます。

【特長】
■耐熱、断熱性・熱衝撃性・柔軟性に優れている
■化学的にも安定
■4製品をラインアップ

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『JGS1』は、極低膨張率、遠紫外線域での高い透過率、化学的耐久性
などの優れた特性を有した極めて高純度の溶融/合成石英製品です。

サブミクロン単位の超精密性と高い安定性を要求される光学部品材料
として好適。

硝材の材料寸法、形状については都度の対応を致します。

【仕様】
■純度：溶融石英 99.99％/合成石英 99.999％
■脈理方向：One side striae free（合成石英）
■OH（PPM）：溶融石英 200/合成石英 1200
■使用波長：溶融石英 240～2500nm/合成石英 200～2500nm

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『JGS2』は、酸水素火炎で溶融した極めて高純度の溶融石英ガラスです。

極低膨張率、遠紫外線域での高い透過率、化学的耐久性などの優れた
特性を有し、サブミクロン単位の超精密性と高い安定性を要求される
光学部品材料として好適。

硝材の材料寸法、形状については都度の対応を致します。

【仕様】
■純度：99.99%
■OH（PPM）：200
■使用波長：200～2500nm
■電気的性質
・体積抵抗率：4.0［1013］（Ω/cm）at200℃
・誘電率：100（F/m）

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