株式会社三明静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川(横浜)・埼玉・山形・愛知(名古屋)・富山・長野・青森
最終更新日:2023-02-06 11:56:55.0
両面マスクアライナー『BA100/160/200』
マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。
デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、
自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。
また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm
としております。
【仕様(抜粋)】
■ウェハサイズ:4in/6in/8in
■露光光源照度分布:±5%以内
■露光解像度
・ソフトコンタクト:L/S 3μm
・ハードコンタクト:L/S 1μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 両面マスクアライナー『BA100/160/200』
株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川(横浜)・埼玉・山形・愛知(名古屋)・富山・長野・青森
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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