両面マスクアライナー『BA100/160/200』

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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。

デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、
自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。

また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm
としております。

【仕様（抜粋）】
■ウェハサイズ：4in/6in/8in
■露光光源照度分布：±5％以内
■露光解像度
　・ソフトコンタクト：L/S 3μm
　・ハードコンタクト：L/S 1μm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

取扱会社両面マスクアライナー『BA100/160/200』

株式会社三明静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森

産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。

公式サイト

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