株式会社三明本社(静岡)、支店(東京・沼津・中部・大阪)、営業所(横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸)
最終更新日：2023-02-06 11:56:55.0
両面マスクアライナー『BA100/160/200』
マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。
デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、
自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。
また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm
としております。
【仕様（抜粋）】
■ウェハサイズ：4in/6in/8in
■露光光源照度分布：±5％以内
■露光解像度
・ソフトコンタクト：L/S 3μm
・ハードコンタクト：L/S 1μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 両面マスクアライナー『BA100/160/200』
株式会社三明 本社(静岡)、支店(東京・沼津・中部・大阪)、営業所(横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸)
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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