当社が設立当初から取り組んでいる溶融石英ガラス分野として、
『各種石英精密加工製品』を提供しています。
高純度と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、石英ガラスの
重要な応用分野の一つです。近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、
ますます高精度な製品が求められるようになってきています。
CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等、
当社の加工技術で高度な要望に応えて更に応用分野を拡大しています。
【石英ガラス素材】
■石英ファイバースリーブ材
■耐熱/耐高温クロス材
■化学成分
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