株式会社イワキ
最終更新日:2024-10-03 16:59:38.0
イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド
基本情報イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド
イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド
クリーン状態が必須条件の半導体・液晶プロセスにおいて、パーティクルやコンタミネーションの発生・混入はあってはいけません。
イワキはこのような繊細なプロセスが要求される、超純水や薬液の移送制御技術に、絶対的な自信があります。
薬液移送用途から各種処理用途まで、お客様の多種多様な要望に豊富な経験とノウハウでお応えしていきます。
【半導体・液晶分野に求められる課題を解決】
・パーティクル・コンタミネーション・高温液移送・高圧移送・耐久性・ダウンタイムの短縮
【活用分野】
薬液供給プロセス・洗浄プロセ・フォトプロセス・CMPプロセス
その他機能や詳細については、カタログをダウンロード、もしくはお気軽にお問合せください。
圧縮エアー駆動のダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』
ダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』は金属タイプと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を取り揃え。
心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドCスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。
製造プロセスから半導体、装置・機器搭載まで、幅広くご使用いただけます。
【特長】
■Max.0.7MPa(一部0.85MPa)の高圧吐出
■完全自吸式で呼び水が不要
■圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要
■一貫した国内生産でタイムリーなサービスを提供
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 (詳細を見る)
自吸式マグネットポンプ SMX/SMX-Fシリーズ
SMXシリーズは、高比重液の扱いを考慮したモジュール設計の
自吸式マグネットポンプです。
定評ある当社独自の新機構、セルフラジエーション構造を採用。
異常運転時に発生する摺動熱を効率良く拡散・放熱します。
また、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用したよこ型
自吸式マグネットポンプ「SMX-Fシリーズ」もございます。
【特長】
■汎用性が向上
■メンテナンスの作業性が向上
■異常運転に強い
■自吸スピードアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
イワキハイセラポンプ Vシリーズ
『イワキハイセラポンプ』は、ファインセラミックス製のプランジャを採用。
独特のバルブレス構造で、詰まりやカジリなどのトラブルを追放しました。
吐出精度を高めるミクロン単位の精密加工によって、「超微量の薬液」や
「粘度の高い液体」の注入・充填といった用途に活躍します。
【特長】
■超高精度注入、吐出量精度±0.5%(参考値)
■最高2万mPa・s高粘性液を充填
■真空部への注入、高圧部からの引抜き
■優れた耐食性でさまざまな液体に対応
■コンパクト設計で装置組み込みに最適
■エアーロックのトラブル防止
※詳しくは、カタログをご覧ください。 (詳細を見る)
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