イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド

ダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』は金属タイプと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を取り揃え。
心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドＣスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。
製造プロセスから半導体、装置・機器搭載まで、幅広くご使用いただけます。

【特長】
■Max.0.7MPa（一部0.85MPa）の高圧吐出
■完全自吸式で呼び水が不要
■圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要
■一貫した国内生産でタイムリーなサービスを提供

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

SMXシリーズは、高比重液の扱いを考慮したモジュール設計の
自吸式マグネットポンプです。

定評ある当社独自の新機構、セルフラジエーション構造を採用。
異常運転時に発生する摺動熱を効率良く拡散・放熱します。

また、耐薬品性に優れたフッ素樹脂を採用したよこ型
自吸式マグネットポンプ「SMX-Fシリーズ」もございます。

【特長】
■汎用性が向上
■メンテナンスの作業性が向上
■異常運転に強い
■自吸スピードアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『イワキハイセラポンプ』は、ファインセラミックス製のプランジャを採用。
独特のバルブレス構造で、詰まりやカジリなどのトラブルを追放しました。

吐出精度を高めるミクロン単位の精密加工によって、「超微量の薬液」や
「粘度の高い液体」の注入・充填といった用途に活躍します。

【特長】
■超高精度注入、吐出量精度±0.5％（参考値）
■最高2万mPa・s高粘性液を充填
■真空部への注入、高圧部からの引抜き
■優れた耐食性でさまざまな液体に対応
■コンパクト設計で装置組み込みに最適
■エアーロックのトラブル防止

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