イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■

■大幅な省レジスト

■多様なコートプロセスに対応

■ダウンタイムの短縮

■コンタミフリー

■高粘度用途に対応（PDS-H115)

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