イオンビームミリング/エッチング装置-伯東株式会社

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基本情報イオンビームミリング/エッチング装置-伯東株式会社

Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチング装置をご提案！！

伯東(株)/(株)エヌエスは長きに亘り、共同でイオンビームミリング装置の開発を行っており、イオンソース・電源・ステージ・周辺機器・GUIまで自社内で設計・製品化しておりますので、お客様のご要望に応じてカスタマイズが可能です。また製品導入後の修理・メンテナンス等についても、弊社に在籍する技術者が対応させていただきます。実際に装置の性能をご覧いただくため、製品説明会・デモを随時実施しております（基本無料、オンライン対応可）。お気軽にご依頼下さい。

イオンビームミリング・エッチング装置-伯東/エヌエス

イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能です。

【特徴】
（１）難エッチング材料を微細加工可能
（２）金属多層膜をワンステッププロセスで加工可能
（３）自公転ステージにより、複数ウエハを均一に同時処理可能
（４）基板冷却ステージ(水冷 or 水冷/ガス冷)により基板温度上昇を抑制し、レジスト焼け防止
（５）ステージ角度可変のため、テーパー加工が容易（異方性エッチング）（詳細を見る）

取扱会社イオンビームミリング/エッチング装置-伯東株式会社

伯東株式会社本社

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