ティックコーポレーション株式会社本社
最終更新日：2021-12-15 14:20:29.0
【Lechler Sonosys】（事例）半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル2021.12.15.
基本情報【Lechler Sonosys】（事例）半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル
レヒラー社の精密スプレーノズルとソノシス社の超音波スプレーノズルで半導体装置の洗浄やリンスをしてみませんか？
【Lechler】レヒラー社製精密スプレーノズル
スプレーノズルはいくつかの敏感な製造工程の場で使われます。
PCB製造では様々な感光性、機械的、化学的プロセスで使われます。
また、ウエハーの形状、マイクロやナノエレクトロニクス、太陽光パネル等で使用されています。
また、耐薬液も選定基準の一つとなります。
レヒラー社は約25000種類以上のスプレーノズルを保有しています。
様々な国の様々な半導体装置機器に組み込まれております。
【Sonosys】ソノシス社製超音波スプレーノズル
構造は超音波発振機による無加圧微粒子塗布装置です。
ピエゾセラミックの振動による超音波がスプレーノズルに伝わり、そこで液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、霧化します。
加圧なしで液体が供給され、微細な粒子を噴霧させることができます。
液体に圧力を加えないため、飛散や跳ね返りが非常に少なく、塗布液のムダが無くなり大掛かりな塗装ブースも不要。設備投資とランニングコストの削減を実現します。
ソノシス社は半導体洗浄装置をOEMで様々な半導体装置に納入されています。
その一例を事例として掲載しました。
レヒラーの精密スプレーノズルとアクセサリー
競争は日ごとに厳しさを増しています。高品質でかつ低価格を要求するお客さまの要望は合理化のためにその持てる潜在能力を極限まで引き出すことにあります。
レヒラーのスプレー技術は、貴社の生産工程と技術の改善に寄与します。本当に必要なことは、計画の初期段階からの信頼できるパートナーを持つことです。レヒラーは計画を円滑に進めることができるように役に立つ測定データを提供し、一般的でないノズルにしてもそれはレヒラーの重要なノズルの一部なので、それらについても解決法を提示することができます。
レヒラーのような経験の豊富なパートナーを選ぶことによって、その完璧無比の品質、国際的なノウハウ、迅速な納品によりリスクをなくすことが出来ます。
レヒラーの新しいカタログは、お客様の日々の仕事に役立つユニークな参考書です。その分かりやすいレイアウトと詳しい説明は、より良い解決を見出すための貴重な手段となるでしょう。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。 （詳細を見る）
レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル≪最新型≫
≪Lechler≫レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル、型番490/491シリーズは、ノズル内が滑らかな独自構造で、目詰まりがしにくいノズルです。
通常のノズルの場合、ノズル内の径と出入口の径が異なり、旋回流を作る際に目詰まりが起きるデメリットがありました。
490/491シリーズであれば、ノズル内の径と出入口の径が同じなため滑らかな旋回流で目詰まりが起きにくい利点があります。
【特長】
■各種流体に対応可能
■目詰まりが起きにくい独自構造
■独自構造で特許取得済
■取り換え頻度を下げたい機会・設備のノズルに
※構造やサイズラインナップはカタログをご確認ください。 （詳細を見る）
レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル（型番：419）大流量タイプ
一流体縦軸型スプレーノズル490/491シリーズから姉妹品である419シリーズ（大流量タイプ）が登場。
ノズル内が滑らかな独自構造で、目詰まりがしにくいノズルです。
通常のノズルの場合、ノズル内の径と出入口の径が異なり、旋回流を作る際に目詰まりが起きるデメリットがありました。
このスプレーノズルであれば、ノズル内の径と出入口の径が同じなため滑らかな旋回流で目詰まりが起きにくい利点があります。
【特長】
■各種流体に対応可能
■目詰まりが起きにくい独自構造
■独自構造で特許取得済
■取り換え頻度を下げたい機会・設備のノズルに
※構造やサイズラインナップはカタログをご確認ください。 （詳細を見る）
《ソノシス》超音波スプレーノズル
超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。
即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。
そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。
そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。
（詳細を見る）
【Sonaer】ソニア社製超音波スプレーノズル
ピエゾセラミックの振動による超音波がスプレーノズル（アトマイザー）に伝わり、そこで液体膜を振動させて極め細かい粒子を形成させて噴霧します。
加圧なしで液体が供給されて微細な粒子を噴霧させる事が出来ます。
流量は型式により異なりますが、最小流量10ml/min~最大100ml/min分の液体まで幅広く対応しています。
液体に圧力を加えない為、飛散や液体の跳ね返りが非常に少なく塗布液の無駄がなくなります。
また大掛りな塗装ブースも不要です。
設備投資とランニングコストの削減を実現します。
※本商品はソニア社製超音波スプレーノズル専用アクセサリーです。 （詳細を見る）
レヒラー社製二流体スプレーノズル
特殊なスプレーや流量の必要性に合わせ様々なデザインのレヒラー社製 二流体スプレーノズルをご用意しております。
＊自吸式（サイフォン式）
＊高所にある水槽からの液体スプレー（重力式）
＊圧力による液体スプレー（加圧式）
＊ノズルの内部もしくは外部での液体の混合
＊フルコーンもしくはフラットスプレーパターン
多くの使用法に対して手動のアクセサリーを使って水流と粒子を調整することができます。エアーでコントロールするピストンあるいは磁気バルブで、自動もしくは間歇運転をすることができます。多くの特注のデザインも含めてノズルの種類について不備のないものにしました。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。 （詳細を見る）
【Lechler】レヒラー社製二流体内部/外部混合スプレーノズル
レヒラー社製二流体微噴霧スプレーノズルは高精密な噴霧を得るために定量のエアーを使用します。
空気圧を利用して噴霧する為、粘度の高い液体の噴霧に利用される事もあります。
二流体微噴霧スプレーノズルの液体搬送システムは3通りあります。
○サイフォン型
○重力型
○圧力（加圧）型
これら液体搬送の方法は必要な粒子径に応じて手動または自動で増強されます。
スプレー形状はフラット（扇形）、広角フルコーン（全面型）、鋭角フルコーン（全面型）があります。
※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。 （詳細を見る）
レヒラー社製高インパクトフラットスプレーノズル（トング型ノズル）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。
特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。
小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。
流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴霧分布を描きます。
このスプレーノズルは幅広い用途に使用出来るようにデザインされており、圧力の変化に影響を極力及ばないような設計となっています。
工学的に設計された色々な圧力下での流量、スプレー幅、スプレーインパクト、噴霧分布等のデータを揃えております。 （詳細を見る）
レヒラー社製ホロコーンノズル
縦軸型ホロコーンノズルは、冷却やガスの洗浄、吸収工程、ダストコントロール、製品加湿、オイル塗布、空気加湿等の微細で均一なホロコーンスプレーを必要とする時に効果的であることが証明されています。スワールインサートにある渦巻状の溝が液体を効果的に回転し、その結果、霧化された液体の接触面が非常に狭い粒子のスペクトルのなかで著しく増加します。このことが大量に送り出すための好ましい条件を作り出すのです。
横軸型ホロコーンノズルは、特別な流れの形態のために非常に均一なホロコーンスプレーをすることができます。液体は偏向するように作られた液体注入口で回転させられます。そのため非常に均一な液体散布が130°までの角度に作ることができます。また、ノズル自身で洗浄することができ、水質の良くない場合でも安全な作業ができます。エアコンシステムでの空気の加湿、化学工業や環境保護施設でのガス洗浄の際の加湿等に使われます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。 （詳細を見る）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（高圧用ノズル）
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。
小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。
散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。
基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されないので、これらは広い範囲の用途に使えます。
これらの性能データは、厳密に規定されています。
流量やスプレー幅、ジェットの厚み、液体の散布状況などの運転の値は、供給圧を色々替えるために常に用意してあります。
また長方形や台形の液散布用の特別なデザインもあります。
製鉄業や他の多くの分野での表面処理のような強力で均一なジェットを必要とする全てのクリーニング作業用として、レヒラーのフラットノズルは、非常に信頼されています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。
※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。 （詳細を見る）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。
特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。
小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。
流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴霧分布を描きます。
このスプレーノズルは幅広い用途に使用出来るようにデザインされており、圧力の変化に影響を極力及ばないような設計となっています。
工学的に設計された色々な圧力下での流量、スプレー幅、スプレーインパクト、噴霧分布等のデータを揃えております。 （詳細を見る）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。
特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。
小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。
流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴霧分布を描きます。
このスプレーノズルは幅広い用途に使用出来るようにデザインされており、圧力の変化に影響を極力及ばないような設計となっています。
工学的に設計された色々な圧力下での流量、スプレー幅、スプレーインパクト、噴霧分布等のデータを揃えております。 （詳細を見る）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（コンパクトタイプ）
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。
小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。
散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。
基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されないので、これらは広い範囲の用途に使えます。
これらの性能データは、厳密に規定されています。
流量やスプレー幅、ジェットの厚み、液体の散布状況などの運転の値は、供給圧を色々替えるために常に用意してあります。
また長方形や台形の液散布用の特別なデザインもあります。
製鉄業や他の多くの分野での表面処理のような強力で均一なジェットを必要とする全てのクリーニング作業用として、レヒラーのフラットノズルは、非常に信頼されています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。 （詳細を見る）
レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル
レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布とジェット圧用に製作されました。特に強力なジェット圧は、60°までのスプレー角度で発揮されます。
小流量でのノズルは、加湿と一般的なスプレーに特に適しています。
散布の形は、異なる塗布パターンをもつ正確でコンパクトなジェットをつくります。
基本的にレヒラーのフラットノズルは、山形散布用にデザインされています。瞬間的な圧力に影響されないので、これらは広い範囲の用途に使えます。
これらの性能データは、厳密に規定されています。
流量やスプレー幅、ジェットの厚み、液体の散布状況などの運転の値は、供給圧を色々替えるために常に用意してあります。
また長方形や台形の液散布用の特別なデザインもあります。
製鉄業や他の多くの分野での表面処理のような強力で均一なジェットを必要とする全てのクリーニング作業用として、レヒラーのフラットノズルは、非常に信頼されています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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レヒラー社製ボールジョイント型フラットジェットスプレーノズル
ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。 （詳細を見る）
レヒラー社製フルコーンノズル（縦軸型/横軸型）
縦軸型フルコーンノズルは、円状にスプレーする部分全体に極めて均一に散布することができます。X型のスワールインサートは開口部が大きいので、運転する上で非常に安全です。縦軸型フルコーンノズルは、色々な角度と流量を持つものを提供できます。
横軸型フルコーンノズルは、例えば固形物のかなり混ざっている液体の密閉空間でのスプレーや消火用に適しています。霧化する液体は、スワールチャンバーに向かって横向きに供給され回転を与えられ、スワールインサートに影響されず、目詰まりすることはありません。
クラスターヘッドノズル（複数のノズル付ヘッド）は、種々の細かく霧化する単体のノズルを加えることでスプレーされた液体の大きな表面を作ることができます。ガス交換プロセスや蒸気冷却、あるいはダスト抑制などの比較的大きな流量を持つ霧のようなフルコーンの霧化を必要とする時は、レヒラーのクラスターヘッドノズルが結果的でかつ有利です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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レヒラー社製横軸型フルコーンノズル
一般的な横軸型フルコーンノズルとの違いは、ノズル内部に液体を砕くために必要なインサートがない事です。
即ち、圧力が変動してもスプレー角度は極めて安定します。 （詳細を見る）
レヒラー社製横軸型フルコーンノズル
一般的な横軸型フルコーンノズルとの違いは、ノズル内部に液体を砕くために必要なインサートがない事です。
即ち、圧力が変動してもスプレー角度は極めて安定します。 （詳細を見る）
レヒラー社製MEMOSPRAY（フラットジェットスプレーノズル）
ノズル使用者の代表的な問題点
・ すり減ったノズルの交換時によるスプレーノズルの位置（角度）の固定の誤り
・ ノズル交換時に、工具が必要である
・ ノズル交換時の紛失による時間ロス
今までの問題点
ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。
特にノズル交換後、スプレーの方向をもう一度前回同様の場所に設置しなければなりません。この作業には、多大な労働時間を費やします。又、ノズルの方向位置が適切でない場合は、低品質の製品を生み出します。
Memosprayは、この問題を解決するには欠かせない製品です。このノズルは、交換をするにあたって、片手でツイストするだけで取付け、取外しをする事が出来ます。
又、”MEMO”と商品名にあるように、ノズルの方向（角度）はボディによって固定されています。 （詳細を見る）
レヒラー社製イージークリップ（フラットジェットスプレーノズル）
ボールジョイントスプレーノズルは、洗浄、脂落し、リン酸塩、そして塗装等の分野で使用されています。最適のスプレー効力を発揮させる為は、適切なスプレー方向、角度が要求されます。 （詳細を見る）
レヒラー社製スプレーノズル据付用アクセサリー
レヒラーの精密スプレーノズル向けアクセサリーを各種取り扱っております。
TWISTLOC簡易ノズル交換システム、差込式簡易脱着システム、アイレットクランプ/リテイニングナット、ソケット/ニップル、ボールジョイト、逆止弁/フィルター、ガスケット/テフロンシーリングテープ等をご用意しております。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
英語版のカタログをダウンロード頂けます。
※注目は農業用ドローンにも採用されています！ （詳細を見る）
【Sonaer】（新製品情報）低流量型超音波スプレーノズル
低流量型超音波スプレーノズル（アトマイザー）
ソニア社製低流量スプレーノズル（アトマイザー）はミクロン、サブミクロンサイズの様々な粘度の液滴（粒子）を小さな部品に塗布し過ぎないように工夫されたスプレーノズルです。
ノズル形状は、フラット型とワイド型の二種類のノズルチップがあります。
超音波スプレーノズルとピンポイント型空気搬送治具（別注）で集中的に塗布することや非常に少ない液滴（粒子）を搬送するのに向いています。これらのスプレーノズルはコーティングを制御して均一な膜が要求される用途に容易に適用できます。
スプレーノズルは軽量です。
ロボットを使ったコーティングシステムに最適です。
スプレーノズルノズルの本体はステンレスになります。
※別注のマイクロフィードチューブは少流量の塗布に適しており、ステンレス製やPTFEフッ素樹脂製もございます。
スプレーノズルはスプレーシェーパーを用いてのピンポイントスプレーや、よりコーティングを制御できるワイドスプレーに装着できます。
※マイクロフィードチューブはオプション品です。 （詳細を見る）
ふわっと塗布して塗着効率アップ！『超音波スプレーノズル』
ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、ピエゾの振動を利用して液体を振動。
きめ細かい粒子を形成し、噴霧します。
流量10mL/minから100mL/minまでの液体に幅広く対応できるほか、
液体に圧力を加えないため、飛散・跳ね返りが少ないのも特長です。
塗布液のムダがなくなり、大掛かりなブースも不要。
塗布・加湿・消毒などの用途に適しています。
【特長】
■目詰りしにくく、作業上の安全性が高い
■液体の流量に関係なく均一に超音波霧化
■消費電力が小さくランニングコストが安い
■ワイドスプレー型、ナロースプレー型の2種類がございます。
★実際に試せる、デモ機の貸出も実施中です★ （詳細を見る）
【Sonaer】ステンレス製マイクロフィードチューブ
ソニア社製ステンレス製マイクロフィードチューブは、1ml/min以下の極低流量用に設計されています。
※勿論1ml/min以上でも使用は可能です。
液体は均一な粒子径を形成されるチップ先端まで一切触れることなく通液します。
※本商品はソニア社製超音波スプレーノズル専用のアクセサリーです。 （詳細を見る）
無加圧で噴霧する『超音波スプレーノズル』シリーズ
ピエゾセラミックの振動により超音波がノズルに伝わり、
液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、噴霧します。
最小流量10ml/分から最大流量100ml/分の液体まで幅広く対応しており、
全流量域での粒子径がほぼ一定です。
◆製品特徴◆
・液体を加圧せずに少ない電力で供給できるため、省エネ
・流量に関係なく均一霧化
・全流量域での粒子径がほぼ一定
・目詰まりしにくく、作業上の安全性が高い
・粒子の自己速度が遅いため、塗着効率が良い
・標準仕様の最大流量は100ml/分
・操作周波数は20～130kHz（機種により異なります）
・ザウター粒子径は11.8～42μm（機種により異なります）
◆アクセサリー◆
空気搬送治具を使うことで、塗布された微粒子（液滴）の噴霧形状を
自由自在に変える事が可能
◆送液ポンプ◆
シリンジポンプ等を使って送液することで、精密制御が可能
≪注目ポイント≫
デモ機の貸出も可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
※※超音波洗浄装置※※
ソノシス社は超音波洗浄装置の製造、販売もしています。 （詳細を見る）
取扱会社 【Lechler Sonosys】（事例）半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル
・圧縮空気用エアーノズルの販売（マルチチャンネルジェット）（レヒラー社） ・タンク洗浄ノズル（レヒラー社） ・精密スプレーノズルの販売（レヒラー社） ・精密ミストセパレーター/ミストエリミネーター（デミスター）の販売（レヒラー社） ・ブロワー型エアーナイフシステムの販売【水切り/乾燥装置】（ソニック社） ・GPE社製ターボブロワー ・タンク乾燥機（ソニック） ・超音波スプレーノズルの販売（ソニア社） ・空気搬送、空気増幅器、ベンチレーターの販売（セコマック社（旧ベック社）） ・鋳造/塗装用エアレススプレーガンの販売（ジャーケル社） ・ガス切断装置（ガスカッター）（トーチカッティング装置）及び切断火口、切断吹管の販売（オキシリューション社 / エルトレーディング社） ・プラスチックコネクターの販売（ゲスマン社） ・各種ディスペンサー(自社製チュービングディスペンサーTIC型の販売)及び国内シリンジポンプ、消耗品の販売 ・ラテックス機械安定度テスター(旧Klaxon Signals Ltd., 旧Secomak社）の販売 ・工業用機械機器/機械工具の販売/精密機器の輸入販売
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