【東北大学技術】新型ホール素子

従来ホール効果を利用した磁気センサ（ホール素子、ホールIC等）の
材料としては、化合物半導体であるGaAsやInSbなどが知られています。

単結晶薄膜における高移動度を利用して高感度なセンサ特性を提供しているが、
作製温度、作製手法、動作温度範囲の制約が厳しい点などに課題がありました。

本発明は、上記課題のいくつかを解決する、Fe-Sn混晶をベースとする
磁性金属薄膜の磁気センサです。

室温堆積の汎用的手法で、広い温度範囲で安定したセンサ特性を示す
特長をもつホール素子を提供します。

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