WU-2x シリーズ　圧力トランスデューサ

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証　ATEX, IECEx,
・高精度モデル　総合精度0.3%以内
・長期安定性
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ（最小）　-0.1...0.1 MPa
圧力レンジ（最大）　-0.1...36.0 MPa
安全超過圧　　　　　圧力レンジ×2倍
受圧部材質　　　　　プロセスコネクション：316L VIM/VAR
　　　　　　　　　　薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ　　　　 エレクトロポリッシュ加工
　　　　　　　　 　 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号　　　　　　4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度　　　　　　0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内) （詳細を見る）

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証　ATEX, IECEx,
・高精度モデル　総合精度0.3%以内
・長期安定性
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ（最小）　-0.1...0.1 MPa
圧力レンジ（最大）　-0.1...36.0 MPa
安全超過圧　　　　　圧力レンジ×2倍
受圧部材質　　　　　プロセスコネクション：316L VIM/VAR
　　　　　　　　　　薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ　　　　 エレクトロポリッシュ加工
　　　　　　　　 　 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号　　　　　　4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度　　　　　　0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内) （詳細を見る）

本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。

<特徴>
・防爆認証　ATEX, IECEx,
・高精度モデル　総合精度0.3%以内
・長期安定性
・外部ゼロ調整機能付き
・EMC性能
・優れた温度補償性能

<製品基本スペック>
圧力レンジ（最小）　-0.1...0.1 MPa
圧力レンジ（最大）　-0.1...36.0 MPa
安全超過圧　　　　　圧力レンジ×2倍
受圧部材質　　　　　プロセスコネクション：316L VIM/VAR
　　　　　　　　　　薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003
表面仕上げ　　　　 エレクトロポリッシュ加工
　　　　　　　　 　 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)
出力信号　　　　　　4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V,
総合精度　　　　　　0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内) （詳細を見る）