マイクロエレクトロニクス アプリケーション例

エレクトロニクス･半導体産業では製品開発のためにナノインデンテーションテスタによる表面機械特性評価が用いられます。
微小荷重にてダイヤモンド圧子を対象サンプルに押し込むことにより、硬さ・弾性率・粘弾性・貯蔵弾性率・損失弾性率・クリープ率などの物性値を測定することができます。
ナノインデンテーション試験では数百ナノ～数百ミクロンの薄膜や柔らかいポリマーの評価が可能です。

測定例
-スマートフォン等のディスプレイ用有機材料・ポリマーフィルム (絶縁体・光ファイバー・半導体)
-磁気記憶媒体 (ハードディスクドライバー)
-太陽光発電バックシート
-プリント基板のSi3N4及び高誘電率セラミック層
-サファイヤコーティングゴリラガラス

アントンパール社製ナノインデンテーションテスタは、特許取得済みの独自のアクティブ表面リファレンスシステムにより、熱ドリフト及びコンプライアンスの影響が実質的に排除されます。
したがって、ポリマーや非常に薄い膜、軟組織などを含むあらゆる種類の材料を長時間測定するのに最適です。 （詳細を見る）