ソフトウェア取扱説明書

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー
コントローラ/メータです。

さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、
フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。

MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。
1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。

【特長】
■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能
■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応
■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用
■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載
■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント
　±1%の制御精度を実現

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