クラスター真空成膜・評価装置紹介

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、
サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置
などの分析機を備えた評価室から構成されます。

また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。
試料を真空中でロボット搬送し試料作製から評価までを自動で行います。

尚、すべてのチャンバーは高真空環境で接続させることも可能で、試料の
作製から評価まで大気に触れることもなく運用させるシステムです。

【特長】
■分析機を備えた評価室から構成
■中央の試料自動搬送チャンバー
　・試料作製から評価までを自動で行い、効率的に進める
■すべてのチャンバー
　・高真空環境で接続させることも可能
　・試料の作製から評価まで大気に触れることもなく運用

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