【技術資料】キセノンエキシマ真空紫外光ランプの高出力化

1980年代の終わり頃、エキシマ発光を利用した高輝度な真空紫外光
ランプが開発されました。

例えば、キセノンガスを用いたエキシマランプでは、波長172nmの
真空紫外光を、100W／m2という高い光照度で生み出すことができ、
材料表面の光分解洗浄や光表面改質などに盛んに応用が進んでいます。

本発表では、従来のランプより10～20倍明るい、1～2kW／m2の
光照度の実現を念頭に置いて、高出力化に必要な要素技術の検討を
行いました。

【掲載内容】
■エキシマランプの原理と研究開発目的
■放電方式について
■ランプの形状について

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