半導体製造プロセスの微量分析に貢献するイオンクロマトグラフィーメソッド

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基本情報半導体製造プロセスの微量分析に貢献するイオンクロマトグラフィーメソッド

微量イオン、遷移金属の測定などプロセス汚染を迅速に特定　高い分離性能、確立された手法による高品質な分析結果

半導体製造プロセスや完成したデバイスにとって、イオン汚染は腐食、浸食、短絡の原因となる恐れがあるため、大きな懸念です。
イオンクロマトグラフィー（IC）は、半導体業界におけるさまざまなプロセス汚染物質の微量成分と、主要成分を迅速に測定できる効率
的な分析手法です。当社のイオンクロマトグラフィーシステムがどのように活用できるかをご紹介いたします。
※詳細はPDFをご覧いただくかお気軽にお問い合わせください。

半導体・電子部品、材料、化学薬品、燃料などの幅広い微量分析に活躍

イオンクロマトグラフの使用をおすすめできる産業は以下の通り多岐に渡ります。当社イオンクロマトグラフは高速、高分離を特長としており、これら分野で要求されるイオン化合物、不純物、汚染といった微量分析に適し、研究開発や品質管理で活用いただけます。
以下のような豊富な測定事例をご紹介しておりますので、ぜひ現在お持ちの課題解決、分析業務の効率化にお役立てください。

・半導体
・電池
・電子機器
・化学薬品
・材料
・石油およびガス
・バイオ燃料
・電力（詳細を見る）

イオンクロマトグラフ『Dionex Inuvion』

Thermo Scientific Dionex Inuvion ICシステムの特長

•コンパクトでスタイリッシュなデザイン
•機能重視のスマート設計により、特別な工具を使わずメンテナンスが可能
•進化した高性能ポンプテクノロジーとエレクトロニクスにより、分析時間を短縮、結果の品質も向上
•柔軟性の高い多用途のプラットフォームにより現在のニーズとご予算に合わせたシステム構成、また将来的にアップグレードが可能
•Chromeleonソフトウエアによる装置制御と解析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。（詳細を見る）

取扱会社半導体製造プロセスの微量分析に貢献するイオンクロマトグラフィーメソッド

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

各種分析機器、各種バイオ関連機器、計測器、医療機器、ラボ用ソフトウエア、研究用試薬、消耗品などの販売、保守サービス。