株式会社フェザーグラス
最終更新日:2022-12-05 16:44:39.0
ドライエッチング温度制御(冷却) 事例
基本情報ドライエッチング温度制御(冷却) 事例
ナノミストによるドライエッチング温度制御(冷却) 事例
*チラー、現況冷媒、Heが無くなる!
*新冷媒は安全・安価な物質を使用
*ナノ化により温度制御のレスポンスが極めて早い⇒温度管理精度のUP
*発熱対象エリアの熱の均一化させる作用
取扱会社 ドライエッチング温度制御(冷却) 事例
■ナノテクノロジーを利用した各種素材の研究開発 ■ナノテクノロジーを利用した各種機器およびプラント機器の研究開発 ならびに効果測定業務の受託および測定結果の証明業務の受託 ■前各号の研究開発の事業化に関するコンサルティング業務 ■工業所有権の保有、許諾、売買ならびに管理運用
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