日邦産業株式会社
最終更新日：2024-01-11 10:46:01.0
大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置
『大気圧プラズマ装置』は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な
環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができる装置です。
「ダイレクト方式」と「ジェット方式」の2種類の照射方式を採用しており、
様々なプロセスに対応可能。
大気圧プラズマを利用すると、通常では起こりえない様々な現象が起こります。
主な用途としては、通常の洗浄では除去が難しい素材表面の微細な有機物等を
分解、気化することによる洗浄効果や、表面組成の分解、再組成などによる
表面改質などがあります。
【ダイレクト方式 特長】
■向かい合った2枚の電極間に高電圧をかけ、処理用ガスを送り込むことで発生した
プラズマガス中に処理対象素材を通過させる
■導電性の処理対象素材を電極の片側として利用し、電極と素材間にプラズマを
発生させる
■電圧をかけた空間に処理用ガスを送り込む方式のため様々なガスに対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 大気圧プラズマ装置
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