一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2023-03-23 15:57:04.0
【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析_C0692
基本情報【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析_C0692
様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です
SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより精度の高い不純物の定量が可能です。
市販深紫外LEDを解体後、SIMS分析を行い、ドーパントのMgの濃度、及び主成分のAl組成の分布を求めた事例を紹介いたします。
【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析
SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより精度の高い不純物の定量が可能です。
市販深紫外LEDを解体後、SIMS分析を行い、ドーパントのMgの濃度、及び主成分のAl組成の分布を求めた事例を紹介いたします。
測定法:SIMS
製品分野:照明・パワーデバイス・光デバイス
分析目的:微量濃度評価・不純物評価・分布評価・製品調査
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取扱会社 【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析_C0692
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