【資料】半導体産業におけるイオンクロマトグラフィーの応用

半導体とは、室温で導体と絶縁体の中間として導電性を持つ材料です。

導電率を制御できる重要な技術と経済発展の2つの観点から、非常に大きな
市場であるコンピューター、携帯電話、人工知能などに使われており、
今日のさまざまな電子製品の中心的な材料として扱われています。

当資料では、半導体材料や半導体製造プロセスなどにおけるイオンクロマト
グラフィーの応用例をご紹介。是非、ご一読ください。

【掲載内容(抜粋)】
■半導体材料へのイオンクロマトグラフィーの応用
・窒化ケイ素中のフッ素と塩素の定量
・炭化ケイ素中の陰イオンと陽イオンの測定
・酸化ケイ素粉末中の陰イオンの測定

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