一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日：2023-04-18 16:32:54.0
【分析事例】表面分析による品質管理_C0660
基本情報【分析事例】表面分析による品質管理_C0660
表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価できます
TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)は、最表面の有機物・無機物を感度よく評価可能な手法で、製品の様々な品質管理を行うときの分析手段として利用することができます。例えば、製品保管時の表面付着物の定期的な確認、製品に剥離・変色などの不具合品が発生した際の原因調査、製作条件を変えた前後での着目成分の変化などです。本資料では、付着成分として代表的なポリジメチルシロキサン（PDMS）について、保管環境が異なるSiウェハ表面の比較を行った例を紹介します。
【分析事例】表面分析による品質管理
TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)は、最表面の有機物・無機物を感度よく評価可能な手法で、製品の様々な品質管理を行うときの分析手段として利用することができます。例えば、製品保管時の表面付着物の定期的な確認、製品に剥離・変色などの不具合品が発生した際の原因調査、製作条件を変えた前後での着目成分の変化などです。本資料では、付着成分として代表的なポリジメチルシロキサン（PDMS）について、保管環境が異なるSiウェハ表面の比較を行った例を紹介します。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：電子部品・製造装置・部品・その他（エレクトロニクス全般）
分析目的：表面分析・化学結合状態評価・故障解析・不良解析・その他（汚染評価、品質管理）
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取扱会社 【分析事例】表面分析による品質管理_C0660
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