Purification Method for Achieving Low Trace Metalsin Ultra- High Purity Chemicals

『3M MIPシリーズ』は、半導体製造プロセスなどで使用する薬液中の
金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能な金属イオン除去フィルターです。

イオン交換容量が大きいためワンパスで効果的な除去が行えるほか、
金属溶出も少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化が可能。

スクリーニング評価用のφ47mmディスクから20インチカートリッジまでの
サイズをラインアップし、少量の薬液テストから簡単にスケールアップ可能です。
現行プロセスへの追加も容易で、2種類のタイプ展開で様々な金属種の低減に貢献します。

【ラインアップ】
◎47mmディスクタイプ（スクリーニング用）
◎2インチカートリッジタイプ（スケールアップ評価・少量ろ過用）
◎10インチ/20インチカートリッジタイプ（量産スケール用）
ろ材はイオン交換タイプ（SCP）とキレートタイプ（APP）を展開

※「PDFダウンロード」より製品詳細や試験データを掲載した資料や、
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