ＶＥ－２０１３卓上型高真空蒸着装置VE-2013_01

デスクトップ型の真空蒸着装置。 TMP＋RPの排気系により清浄高真空で蒸着可能。

ヒーター電極　：　1対（2対タイプはオプション。）
蒸着対象金属 ：金・アルミ・クロム・銀・カーボン　その他
試料ステージ　：　直径72mm
蒸着源－試料間隔 ： 0mm～140mm
チャンバーサイズ　：　内径160mmｘ深さ235mm
電極間電圧／電流　： AC15Ｖ、 0～30A タッチパネル表示
排気系：TMP67 ℓ／sec ＋RP 50ℓ／min
真空度測定　：　タッチパネル表示　フルレンジ真空計
到達真空度：5×10-4 Pa 以下
安全対策　：系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック
装置サイズ　：　　W428× D430 × H550 (mm)　 38Kg
電源　：　単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用