IRFシリーズ

圧縮空気、窒素用の中空糸膜ろ過フィルターです。
中空糸膜とは、ストロー状（マカロニ状）で空洞のある糸が束になっており、
膜の外側で異物を捕捉し、清浄な流体を供給します。

中空糸膜は孔径が細い為、精密なろ過精度を実現します。
そのろ過精度は0.003μm（3nm）。
主に半導体製造、電子機器製造、食品工場といった、微小な異物の混入に敏感な
場面でご使用頂いております。
2重梱包仕様の為、クリーンルームにおいても問題なくご使用頂けます。

※ろ過精度は弊社測定条件によります

■製品に関するお問合せ
・産業フィルター営業部 東日本営業所
　TEL：03-5568-9281
・産業フィルター営業部 西日本営業所
　TEL：06-6533-0360 （詳細を見る）

Nox計（窒素酸化物測定装置）、大気分析装置、PM2.5自動計測機、細胞分析装置といった、
各種分析装置のキャリアガス、ブランクガス、フラッシング、ゼロガスの異物、水分混入防止用途としてご使用頂くエアーフィルタ、エアードライヤです。
エアーフィルタ、エアードライヤを搭載することで、分析装置の供給エアーへの異物、水分の混入に
よるノイズを防止することが可能です。 （詳細を見る）

弊社のろ過フィルターは、ラボ用の超純水、超純水製造装置への搭載実績があります。
ミクロン、ナノレベルのろ過に対応可能な中空糸膜素材を採用している為、
半導体のウェーハ洗浄装置にも搭載実績もあり、最終ろ過工程レベルでもご使用頂けます。

また、装置内部に搭載されている、純水タンクのエアーベント用途として、
エアーフィルタを採用頂いた実績もございます。 （詳細を見る）