東北大学技術：センサユニットおよびセンサ：T20-156

現在、生産労働人口減少の問題を解決するために多くの産業分野でロボットの導入が進んでいる。今後ロボットがヒトと同様の作業をするためには、視覚以外の感覚(力覚、圧覚、温覚、冷覚など)のセンサをロボットが持つことが重要になる。そのために、物体に作用する力などを測定するセンサとして微小電気機械システム技術を用いた小型で高感度なセンサの開発が進んでいる。しかし現在の技術では、外部からの力の向きによっては、印加された力を十分検出することができないという課題があった。
本発明によって、外部から加わる様々な向きの力を検出することのできるセンサユニットおよびセンサを提供することが可能になった。また、1つの素子で様々な情報を得ることのできるセンサユニットも提供することができる。本発明は、基準面に対して第1方向に対して突出する複数の凸構造の立体形状センサを有する連続した磁歪膜を用いることで、外部から加わる様々な向きの力を検出することが可能となる。 （詳細を見る）