東北大学技術：投影光学装置：T04-031

本発明では、反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さくすることを目的に、２つの反射鏡として「非球面反射鏡」を用いていることが特徴である。本発明の顕微鏡への応用例を図2に示した。本発明で提案しているいくつかの光学パラメータの１つを用い、拡大鏡を作製した。反射鏡間が10cmと広い空間が確保されており、そこに設置した直径1mmポリエチレン球、お
よび体長1mmの昆虫の羽根の毛を観察することができた。さらに本発明は光学系で高精度な位置合わせが要求される波長2-200nmの極紫外および軟Ｘ線領域に有効である （詳細を見る）