東北大学技術：表面形状計測装置：T04-111

変位センサを走査して形状を測定する走査型測定法は、球面や平面のみならず、非球面のような多様な被測定形状に対応できるという特徴がある。±10nmの精度で次世代高精度マイクロ非球面形状を計測するために、１線形誤差の自律ナノ校正、２プローブ先端球計上誤差の自律ナノ計測補正、３運動誤差の自律ナノ計測補正等、様々な問題がある。このような中で、マイクロ非球面レンズ等の表面形状計測においては、走査系の誤差、特にスピンドルの回転運動誤差の除去が望まれている。
本発明では、高精度マイクロ非球面形状を計測するために、ステージの運動誤差、温度変化による膨張誤差、プローブの接触角による誤差を改善することによってナノメートルの精度を持つ高横分解能で低測定力の接触式変位センサで測定可能である。 （詳細を見る）