事例 : 水素ガス中の不純物測定

電子ブックの閲覧方法はこちら

基本情報事例 : 水素ガス中の不純物測定

MAX-iRアナライザーは水素ガス中の不純物を1 ppb以下のレベルで検出することが可能

水素は、多くの工業用化学プロセスで使用されています。例えば、半導体産業では、薄膜蒸着のキャリアガスとして、また、残留酸素を中和して半導体デバイスを損傷から保護するためにも水素が使用されています。このような半導体プロセスには、認証を受けた超高純度水素ガス（>99.999%）が必要です。

このアプリケーションノートでは、Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザーが、高純度水素ガス中の複数のしかも極微量の不純物成分ををオンラインで迅速かつ正確に定量する能力を持つことを説明しています。

MAX-iR FTIRガスアナライザー

Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザーは、インラインプロセス、バッチサンプリング、ガス純度／認証、排出ガス源試験、排気ガス、環境大気モニタリングなどに求められるもっとも厳しい基準を満たすよう設計されています。

この装置にはFTIRまたは光学強化型FTIRの光学的性能を大幅に強化したThermo Scientific StarBoost 光学強化テクノロジーが搭載できます。多くのアプリケーションでは数ppbレベルという検出限界を達成可能です。さらにMAX-iRアナライザーは、超高純度バルクガスアプリケーションでの検出限界を数十pptレベルまで下げることができるため、FTIRガス分析計の中でもっとも高感度な装置の1つといえます。

超高速分析性能と卓越した検出下限値を備えたMAX-iR FTIRガスアナライザーは、ガスクロマトグラフィー（GC）といった従来の低速・高運用コストの技術よりも優れており、これらを置き換えることができます。
（詳細を見る）

取扱会社事例 : 水素ガス中の不純物測定

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

各種分析機器、各種バイオ関連機器、計測器、医療機器、ラボ用ソフトウエア、研究用試薬、消耗品などの販売、保守サービス。