日邦産業株式会社
最終更新日：2024-01-11 10:46:01.0
高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』
高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの
ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質
セラミックス真空チャックです。
ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。
ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と
作業効率向上を実現します。
また、ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で
吸着盤上を自在に動かすことが可能です。
【特長】
■静電気防止材料
■部分吸着可能
■ワークの汚染リスクを低減
■高性能・高精度な均一吸着力
■省スペースを実現
■既存装置に置くだけ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
【採用事例1】高精度多孔質セラミックス真空チャック
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの
ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。
ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。
【課題】
・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい…
・ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、従来チャックではしっかり固定できない…
当製品をご採用いただくことで下記の改善が見られました。
【解決】
細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく向上
エアロフィックスの導入により精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクに
ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。
お困りの方はお気軽にご相談ください。
【特長】
■静電気防止材料
■部分吸着可能
■ワークの汚染リスクを低減
■高性能・高精度な均一吸着力
■省スペースを実現
■既存装置に置くだけ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
【採用事例2】高精度多孔質セラミックス真空チャック
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの
ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。
ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。
【課題】
研磨の際にサファイア基板をワックスで固定しているが、
貼る、剥がす、洗浄するといった一連の作業に手間と時間がかかって困っている…
当製品をご採用いただくことで下記の改善が見られました。
【解決】
エアロフィックスの導入によりワックスを使用することなく安定した固定が実現
ワックス作業関連作業の削減により作業効率を大幅に向上、コストも削減
ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。
お困りの方はお気軽にご相談ください。
【特長】
■静電気防止材料
■部分吸着可能
■ワークの汚染リスクを低減
■高性能・高精度な均一吸着力
■省スペースを実現
■既存装置に置くだけ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
【採用事例3】高精度多孔質セラミックス真空チャック
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの
ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。
ご相談いただいたC社様では下記のような課題がございました。
【課題】
従来の真空チャック製品では吸着面のエアー抜きの穴にフィルム素材が引き込まれ、
たわみが生じるため品質上の問題となっていた…
当製品をご採用いただくことで下記の改善が見られました。
【解決】
・たわみのない部分吸着 ・大面積対応可能
・発塵がない ・静電気が発生しない ・高コストパフォーマンス
ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。
お困りの方はお気軽にご相談ください。
【特長】
■静電気防止材料
■部分吸着可能
■ワークの汚染リスクを低減
■高性能・高精度な均一吸着力
■省スペースを実現
■既存装置に置くだけ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
【採用事例4】高精度多孔質セラミックス真空チャック
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの
ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。
ご相談いただいたD社様では下記のような課題がございました。
【課題】
研磨装置の開発、販売を行っているが、研磨時のワーク固定が課題…
新技術を活用した製品開発の必要を感じていた
【活用場所】
真空チャック・研磨全般
当製品をご採用に至った背景は下記となります。
【採用背景】
ナノテムの実際の設備・技術を見学し、技術力と独自性に好印象を持った。想像以上だった。
多孔質アルミナと研磨で培った技術による、今は主流でない（固定砥粒の）技術で将来性を感じた。
ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応しています。
お困りの方はお気軽にご相談ください。
【特長】
■静電気防止材料
■部分吸着可能
■ワークの汚染リスクを低減
■高性能・高精度な均一吸着力
■省スペースを実現
■既存装置に置くだけ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』
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