【導入事例】分光放射計Neoシリーズ

イオンビームスパッタリング(IBS)成膜装置の開発に従事している
Cutting Edge Coatings GmbH(CEC社)と共同で分光放射計Neoシリーズを
導入した事例をご紹介いたします。

コーティングの実行中、生成された積層の絶対透過率、つまり製造中のフィ
ルターは、生成された層ごとに常に変化するため、たとえ低い透過率の値で
あっても、分光器の信頼性と予測可能なリニア応答を得ることが重要です。

この課題を解決するために、新型の分光放射計Neoのプラットフォームの採用により、
生産されるフィルターは現在、より厳しい公差に対応できるようになりました。

【事例概要】
■課題
・製造中のフィルターは、生成された層ごとに常に変化する
・分光器の信頼性と予測可能なリニア応答を得ることが重要
■結果：生産されるフィルターは現在、より厳しい公差に対応できるようになった

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