カタログ発行日：202401

ウエハー加工事業部202401

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基本情報ウエハー加工事業部

ウエハーの成膜(CVD,スパッタ)・フォトリソ・エッチングの受託加工をお受けしております。試作・開発品から量産まで対応可能。

成膜はCVD装置でのSiO2/SiN/SiON成膜、スパッタリング装置でのTi/Cu/Cr/Ni等（その他の物もご相談ください。）の金属膜の成膜が可能。フォトリソはステッパーでのパターン形成。エッチングはドライエッチング、ウェットエッチングの対応が可能となっております。これらの装置は全て社内にて保有しており、一貫した生産が可能となっております。
加工可能なサイズは小片～８インチまでが可能です。また、１枚のみの加工も対応致しております。

取扱会社ウエハー加工事業部

株式会社九州セミコンダクターKAW 山香工場

1. ウエハー販売、ウエハー加工（成膜・フォトリソ・エッチング加工サービス） 2. MEMS関連の特殊加工 3. マイクロ流体チップの製造・販売及び受託生産 4. FA装置　設計・組立・据付（各種ロボット対応） 5. 半導体外観検査／電子機器の受託生産・検査 6. 回路基板の設計・製造・販売 7. ソフトウェアの開発・販売 8. 前各号の開発・試作

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