リアルタイムプロセスガスモニタリング装置

『リアルタイムプロセスガスモニタリング装置』は、常時スキャン測定により高感度・超高速リアルタイムモニタリングを実現した電子イオン化飛行時間型質量分析計です。

イオンチャンバーは、試料と電子ビームを集中させることが可能で、チャンバーへの印加電圧により、イオン雲を効率よくイオン光学系に押し出すことが可能。

イオンチャンバー内の広い表面積が感度を長時間維持することができ、高い堅牢性を実現します。

【特長】
■Xbeamイオン源
■リフレクションジオメトリー
■マイクロチャンネルプレート
■比類なき安定性
■圧倒的なLODとダイナミックレンジ

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