東北大学技術：簡便にMo／Wを珪化する方法：T21-214

Mo材は、高温で耐熱性に優れる材料として知られている。Mo材は高温で容易に酸化してしまうため、酸化防止のためのMoSi2保護膜を形成することが不可欠である。Mo材表面にMoSi2保護膜を形成すると、MoSi2表面にSiO2膜が生成される効果により、Mo材内部への酸化の進行を防ぐことができる。従来方法として、パックセメンテーション法が知られている。この方法は、安定してMoSi2膜を形成できるが、処理条件が1000℃以上・10時間以上と高コストであることが課題であった。
本発明は、処理浴に母材を浸漬（例えば800℃・15分）するだけで、Mo／W材表面にMoSi2／WSi2膜（例えば30 μm）を形成する方法に関する。本方法の最大の利点は、処理浴への浸漬という方法を用いることにより、処理できる形状の制限が無い点である。脆いMoSi2／WSi2を加工するのではなく、母材を製品形状に加工した後に、処理浴へ浸漬させ珪化を行うことが可能である。本発明を施したMo材は、高い耐高温酸化性を示すことが確認されており(右表)、従来より簡便な珪化手法として有用である。
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