加熱装置『チャンバーユニット』

『チャンバーユニット』は、産業プロセスにおける精密な温度制御と
温度均一性の要求に応える加熱装置です。

産業用プロセスに必要な熱を供給し、大気中または制御された
雰囲気中で運転することができます。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【用途】
■半導体・FPD製造関連
■特殊材料製造関連
■医療・化学設備関連
​■電化製品関連

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