レーザー切断保護液ご利用案内-CHEMFISH

基本情報レーザー切断保護液ご利用案内-CHEMFISH

レーザー切断保護液

レーザーエッチング加工時、ウェーハ表面に付着する固形物の昇華・蒸発カスは、純水では除去できず、密着不良や電流リークの原因となり、不良を増加させる。そこで、水溶性保護膜を開発した。レーザー加工前にウェーハ表面に塗布することで、付着ものを大幅に抑制し、合格率を高める。

【製品】 ■電子材料中間体 ■難燃剤 ■電解液添加剤 ■イオン液体「バッテリグレード」 ■フッ素化合物 /3M 代替品 ■医薬中間体 ■光開始剤 ■ガス ■CVD ALD前駆体 ■委託合成

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