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最終更新日:2024-08-16 11:43:09.0

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  • カタログ発行日:2024/7/18

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価_B0303

基本情報無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価_B0303

TOF-SIMS、D-SIMS:二次イオン質量分析法

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価について紹介しています。

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価 製品画像

半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。
MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-SIMS)で深さ方向へ定量するという、デバイス中の不純物評価が可能です。
本件では、無アルカリガラス中の金属不純物を測定した事例を紹介します。 (詳細を見る

取扱会社 無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価_B0303

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受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします! 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. 1、2号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. 1、2号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。

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