半導体製造装置用高機能メタルシール『HELICOFLEX』

『HELICOFLEX』は、半導体製造装置用の高機能メタルシールです。

超高真空(UHV)、超高純度(UHP)、エッチング、CVDなどに幅広く対応。
エラストマーOリングからのコンパチ。

ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■超高真空(UHV)、正圧用途
■高い耐熱性
■耐薬品性・耐腐食性

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）